Твердотельные лазеры применяют в литографах вместо ртутных ламп из-за преимуществ твердотельных лазеров: они отличаются большей мощностью, энергоэффективностью и долговечностью. 4

Использование твердотельного лазера обеспечивает устойчивость к деградации и стабильность спектра, что увеличивает срок службы фотолитографа и позволяет разработать на своей основе более совершенное оборудование. 1