Почему в КМОП микросхемах используется самосовмещенная технология?

В КМОП-микросхемах используется самосовмещённая технология, потому что она позволяет снизить разброс характеристик, который возникает из-за неидеального совмещения масок при литографическом формировании истока и стока. phys-el.ru

Самосовмещение также уменьшает паразитные ёмкости, улучшает надёжность работы и создаёт благоприятные условия для увеличения плотности упаковки транзисторов в микросхеме. phys-el.ru

Кроме того, самосовмещение обеспечивает высокое быстродействие транзистора. hoster.bmstu.ru