Почему трение в микроэлектромеханических системах становится значительной проблемой?

Трение в микроэлектромеханических системах (МЭМС) становится значительной проблемой, потому что величина трения по сравнению с действующими в механизме силами увеличивается и не может быть уменьшена с помощью обычных смазок. 5

Это связано с тем, что трение, смазка и износ в микросистемах реализуются на очень гладких площадках контакта, сравнимых с размерами систем, поэтому роль адгезии и поверхностных сил в них очень велика. 1

Также проблема трения и износа механически движущихся элементов микронных размеров актуальна, так как электронные технологии получения МЭМС основаны на использовании таких материалов, как кремний, механические и трибологические характеристики которого очень низки. 1

Для решения проблемы трения в МЭМС применяют, например, композиционные материалы, специальные сверхтонкие покрытия или методы модификации поверхностного слоя. 12