Технологический процесс в процессорах измеряется в нанометрах, чтобы указать на размер самых мелких элементов. 2 Нанометр — это одна миллиардная часть метра, размер, сопоставимый с размером цепочки из нескольких атомов. 1

В производстве микросхем техпроцесс исторически определял два ключевых параметра: длину затвора транзистора и металлический полушаг — половину расстояния между соседними проводящими дорожками на чипе. 1 До 1990-х годов эти цифры отражали реальные физические размеры. 1 Например, в 130-нанометровом техпроцессе затвор транзистора действительно имел длину около 130 нанометров. 1

Однако развитие технологий и переход к трёхмерным структурам транзисторов изменили ситуацию. 1 Теперь обозначение техпроцесса стало скорее показателем поколения технологии, чем реальным физическим размером. 1