Почему силаны применяются в производстве высокочистого кремния?

Силаны применяются в производстве высокочистого кремния, потому что содержат высокий процент кремния по сравнению с галогенидами и галогенводородами. www.dissercat.com

Кроме того, силан и примеси имеют достаточные различия в физико-химических свойствах, что позволяет легко подвергнуть силан глубокой очистке. www.dissercat.com

Ещё один плюс использования силанов в этом процессе —  в процессе термического разложения в качестве побочного продукта выделяется только водород. www.dissercat.com

Всё это делает гидридный метод, основанный на синтезе летучего гидрида кремния (моносилана), глубокой очистке и термическом разложении, экономически целесообразным для получения сверхчистого поликремния. web.archive.org