Почему неон стал важным элементом в производстве интегральных микросхем?

Неон стал важным элементом в производстве интегральных микросхем благодаря своим химическим свойствам: он обладает завершённой электронной оболочкой, что делает его химически инертным. vk.com ru.wikipedia.org По химической инертности неон уступает только гелию. vk.com

С 1999 года неон используется в ультрафиолетовой фотолитографии при изготовлении схем с проектными нормами 180 нанометров и менее. vk.com ru.wikipedia.org