Почему метод фотолитографии считается ключевым в современной микроэлектронике?

Метод фотолитографии считается ключевым в современной микроэлектронике по нескольким причинам:

• Возможность создания мелких узоров. en.wikipedia.org Фотолитография позволяет формировать узоры размером до нескольких нанометров. en.wikipedia.org
• Точный контроль формы и размера создаваемых объектов. en.wikipedia.org Задача метода — обеспечить качественное формирование элементов на всём поле кремниевой пластины с соблюдением допускаемых отклонений. www.electronics.ru
• Возможность одновременного переноса изображения. caxapa.ru Благодаря волновому характеру оптических процессов фотолитография позволяет переносить изображение, состоящее из многих миллионов элементарных фрагментов. caxapa.ru
• Важность для микропроизводства. en.wikipedia.org Фотолитография — важный метод для микропроизводства в целом, например, для изготовления микроэлектромеханических систем. en.wikipedia.org
• Влияние на темпы развития микроэлектроники. forum.cxem.net Успешное развитие фотолитографии определяло темпы развития микроэлектроники, обеспечив соблюдение закона Гордона Е. Мора, согласно которому плотность компоновки элементов в изделиях микроэлектроники удваивается каждые 18 месяцев. forum.cxem.net