Литография является критически важным этапом в создании современных процессоров, потому что позволяет создавать структуры с нанометровыми размерами. 1

Это способствует улучшению характеристик полупроводниковых приборов, в том числе размеров, энергопотребления, рабочих частот и стоимости. 2 Особую значимость это имеет для процессорных ядер, так как позволяет снизить потребление электроэнергии и повысить производительность. 2