Литография считается критически важным процессом в микроэлектронике, потому что она определяет размеры и характеристики устройств. 2
Литография позволяет создавать структуры с нанометровыми размерами, что необходимо для развития современных микропроцессоров, памяти и других полупроводниковых устройств. 1