Лазер стал альтернативой ртутным лампам в фотолитографии из-за потребностей полупроводниковой промышленности в более высоком разрешении и производительности. 2

Инструменты для литографии на основе ламп не могли удовлетворять требованиям отрасли, так как не позволяли получать изображения с минимальным размером, необходимым для производства плотных и быстрых микросхем. 2

Использование лазеров позволило уменьшить минимальные размеры элементов при производстве чипов: с 800 нанометров в 1990 году до 7 нанометров в 2018 году. 2

Кроме того, лазеры в фотолитографии более мощные и долговечные, чем ртутные лампы. 3