Почему кремниевый упругий подвес считается перспективной технологией в приборостроении?

Кремниевый упругий подвес считается перспективной технологией в приборостроении по нескольким причинам:

• Возможность применения больших серийных заготовок. microsystems.ru Это позволяет осуществлять групповое изготовление маятников. microsystems.ru
• Возможность использования традиционных для производства полупроводниковых элементов технологических процессов. microsystems.ru Например, окисление, фотолитография. microsystems.ru
• Высокая теплопроводность кремния. microsystems.ru Благодаря этому свойству кремниевую лопасть можно использовать в качестве подвижного электрода ёмкостного датчика угла без напыления металлических электродов и без специального токоподвода к ним. microsystems.ru
• Обеспечение свободного отекания электростатического заряда. microsystems.ru Он накапливается на поверхности лопасти в процессе работы и приводит к нестабильности нулевого сигнала прибора. microsystems.ru
• Низкая себестоимость. spacedevice.ru Это обусловлено возможностью применения стандартных групповых технологических процессов микрообработки кремниевых заготовок и высокой степенью повторяемости изделий. spacedevice.ru

Кремниевый упругий подвес широко применяется, в частности, в акселерометрах, используемых в ракетно-космических технологиях, системах навигации и стабилизации. spacedevice.ru