Клистроны стали заменяться полупроводниковыми устройствами в микроволновых технологиях по нескольким причинам:

• Миниатюризация и повышение надёжности электронных приборов СВЧ. 3 Развитие полупроводниковой электроники СВЧ способствовало решению этих проблем. 3
• Появление мощных СВЧ-транзисторов. 2 Это позволило по-новому взглянуть на проектирование комплексированных СВЧ-устройств и использовать полупроводниковую элементную базу в качестве предусилителя. 2
• Преимущества полупроводниковых устройств, такие как малые размеры и небольшой вес, высокая степень автоматизации и групповой характер многих этапов технологического процесса изготовления, низкие рабочие напряжения, высокая надёжность и продолжительный срок службы. 2

В тех применениях, где не требуется высокая стойкость к ионизирующим излучениям, генераторы на отражательных клистронах вытесняются полупроводниковыми генераторами СВЧ — диодами Ганна и лавинно-пролётными диодами. 4