Ионно-плазменное травление считается сухим методом обработки, потому что при нём не используются жидкие вещества. 3
Верхние слои металла удаляются посредством бомбардировки поверхности ионами инертных газов, которые не вступают в химическую реакцию с молекулами основного материала. 1