Электронно-лучевая литография не используется в массовом производстве из-за низкой производительности по сравнению с оптической литографией. 2
Это ограничивает применение метода изготовлением фотошаблонов, малосерийным производством полупроводниковых приборов, а также исследованиями и разработками. 1