Безмасляные насосы предпочтительны для работы с гелиевыми течеискателями, потому что они минимизируют вероятность попадания паров масла в объект контроля. 2

Это важно, так как некоторые компоненты течеискателя не допускают осаждения паров масла, например, используются в изготовлении электронных плат с герметизированным объёмом. 2

Кроме того, использование безмасляного насоса критично для работы течеискателя в режиме «противотока». 3 В этом режиме только часть газа попадает в масс-спектрометрическую камеру, а тяжёлые газы отсеиваются ещё в турбомолекулярном насосе. 3