Почему акселерометры чаще всего делают на базе микроэлектромеханических систем?

Акселерометры часто делают на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС) по нескольким причинам:

• Компактность. blog.skillbox.by www.ess-ltd.ru МЭМС-акселерометры представляют собой миниатюрные механизмы, встроенные непосредственно на чипе, что позволяет значительно экономить пространство. blog.skillbox.by
• Высокая функциональность. russianelectronics.ru Возможность изготовления датчиков, обрабатывающих схем и исполнительных механизмов в одном устройстве позволяет создавать законченные системы достаточно большой сложности в миниатюрном корпусе. russianelectronics.ru
• Улучшенные характеристики функционирования. russianelectronics.ru Электронная часть и электрические каналы связи с датчиками и механизмами, выполненные по интегральной технологии и имеющие малые размеры, позволяют улучшить такие характеристики, как рабочие частоты, соотношение сигнал/шум и другие. russianelectronics.ru
• Высокая точность и повторяемость. russianelectronics.ru Интегральное исполнение чувствительных элементов совместно с обрабатывающей схемой позволяет значительно повысить точность измерений. russianelectronics.ru
• Высокая надёжность и стойкость к внешним воздействиям. russianelectronics.ru Механические узлы МЭМС в условиях вибраций и ударов, как правило, работают лучше благодаря малым размерам и массе, а также тому факту, что механические узлы расположены в корпусе МЭМС, амортизированном выводами и конструкцией. russianelectronics.ru
• Низкая стоимость. russianelectronics.ru Применение МЭМС уменьшает стоимость как механической, так и электронной частей устройства, поскольку обрабатывающая электроника интегрирована в МЭМС-компонент, что позволяет избежать дополнительных соединений и, в некоторых случаях, согласующих схем. russianelectronics.ru