Некоторые преимущества использования пьезодвигателей в робототехнике:

• Высокая разрешающая способность по перемещению. 1 До 1–10 мкм в режиме преобразователя колебаний и до 0,01 мкм — при использовании управляемых деформаций преобразователей. 1
• Высокое быстродействие. 1 Время разгона и торможения составляют единицы миллисекунд. 1
• Значительное усилие самоторможения. 1 При снятии напряжения питания за счёт сил трения. 1
• Прямой привод для любой скорости вращения. 3 В конструктивном отношении значительно упрощается привод и в ряде случаев существенно возрастает КПД. 3
• Возможность прямого позиционирования с субмикронной точностью. 4 Точность может достигаться без использования датчиков положения. 4
• Возможность работы в сложных условиях. 3 Некоторые пьезоэлектрические моторы могут работать в условиях высоких температур, в вакууме, в сильных магнитных полях, в условиях повышенной радиации, при погружении в воду или в масло. 3