Преимущества полупроводниковых приборов по сравнению с вакуумными лампами:

• Малые габариты, вес и энергопотребление. 1
• Отсутствие затрат энергии на накал. 3
• Более высокая надёжность и срок службы (десятки тысяч часов и более). 34
• Большая механическая прочность (стойкость к вибрациям и ударам). 3
• Более высокий КПД, так как потери энергии в самих приборах незначительны. 3
• Возможность работы при низких питающих напряжениях. 3
• Мгновенная готовность к работе при включении питания (в лампах же надо ждать, пока разогреется катод). 1

Недостатки полупроводниковых приборов:

• Зависимость параметров от температуры (однако в некоторых случаях это полезно, например, в термодатчиках). 1
• Ограниченные напряжения и токи. 1
• Радиационная стойкость ниже, чем у ламп. 1
• Сложнее получить высокую мощность на СВЧ (здесь по-прежнему используются электронные лампы: магнетроны и клистроны). 1