Каковы преимущества и недостатки магнетронного напыления по сравнению с другими методами распыления?

Преимущества магнетронного напыления по сравнению с другими методами распыления:

• Высокая скорость осаждения (до 12 мкм/мин). apelvac.com При этом повышение температуры подложки низкое, повреждение плёнки небольшое. dzen.ru
• Хорошая адгезия плёнки к подложке. apelvac.com
• Хорошая однородность по толщине и высокая плотность покрытий. apelvac.com
• Возможность управлять параметрами плазмы для достижения оптимальной структуры и свойств покрытий. apelvac.com
• Возможность распылять сплавы и материалы сложного состава с различным давлением насыщенных паров. apelvac.com
• Относительно дешёвый метод осаждения. apelvac.com
• Возможность нанесения покрытий на большие площади (до 3х6 м²). apelvac.com

Недостатки магнетронного напыления:

• Невысокий коэффициент использования мишени (обычно ниже 40%). dzen.ru Это связано с тем, что распылению подвергается узкая кольцевая область мишени. studfile.net
• Нестабильность плазмы. dzen.ru
• Невозможность добиться высокоскоростного распыления при низкой температуре сильных магнитных материалов. dzen.ru