Преимущества магнетронного напыления по сравнению с другими методами распыления:

• Высокая скорость осаждения (до 12 мкм/мин). 2 При этом повышение температуры подложки низкое, повреждение плёнки небольшое. 1
• Хорошая адгезия плёнки к подложке. 2
• Хорошая однородность по толщине и высокая плотность покрытий. 2
• Возможность управлять параметрами плазмы для достижения оптимальной структуры и свойств покрытий. 2
• Возможность распылять сплавы и материалы сложного состава с различным давлением насыщенных паров. 2
• Относительно дешёвый метод осаждения. 2
• Возможность нанесения покрытий на большие площади (до 3х6 м²). 2

Недостатки магнетронного напыления:

• Невысокий коэффициент использования мишени (обычно ниже 40%). 1 Это связано с тем, что распылению подвергается узкая кольцевая область мишени. 4
• Нестабильность плазмы. 1
• Невозможность добиться высокоскоростного распыления при низкой температуре сильных магнитных материалов. 1