Некоторые основные методы получения тонких плёнок металлов и сплавов:

• Термовакуумное напыление. 2 Вещество нагревают в вакууме до активного испарения и конденсации испаренных атомов на поверхности подложки. 2
• Магнетронное распыление. 1 Материал распыляют за счёт бомбардировки поверхности мишени ионами рабочего газа (обычно аргона), образующимися в плазме аномального тлеющего разряда. 1
• Ионно-лучевой синтез. 1 Основан на получении тонких плёнок с применением ионной имплантации. 1
• Химическое осаждение из паровой фазы (CVD). 3 Летучие компоненты газовой фазы формируют на поверхности подложки твёрдую плёнку посредством химических реакций. 3