Для контроля толщины плёнок и выявления химических примесей используются разные типы измерительных приборов.
Для контроля толщины плёнок применяют, например:
- Механические толщиномеры. 3 Измеряют толщину путём прямого контакта с материалом. 3 Могут быть в виде микрометров, штангенциркулей или специальных калиброванных пластин. 3
- Оптические толщиномеры. 3 Используют световые лучи для измерения толщины. 3 Могут быть в виде лазерных или световых микромеров, которые направляют световой луч на поверхность материала и измеряют его отражение. 3 Подходят для измерения прозрачных и полупрозрачных материалов, таких как стекло, пластик или тонкие плёнки. 3
- Ультразвуковые толщиномеры. 13 Генерируют ультразвуковые волны, которые проходят через материал и отражаются от обратной стороны. 3 Измеряя время прохождения волны, определяют толщину материала. 3
- Магнитные толщиномеры. 7 Используются для неразрушающего измерения толщины немагнитного покрытия на подложках из чёрных металлов. 7
Для выявления химических примесей применяют, например:
- Газоанализаторы. 28 Определяют концентрацию газообразных компонентов. 8 Могут быть инфракрасными, электрохимическими, оптическими. 8
- Хроматографы. 8 Разделяют смеси на компоненты и измеряют их концентрации. 8 Применяются для анализа сложных смесей, пестицидов, органических соединений. 8
- Спектрофотометры. 9 Позволяют анализировать растворы и твёрдые вещества, определять цветность. 9 Прибор сравнивает интенсивность входящих потоков света и пропущенных через образец. 9
- ИК-Фурье спектрометры. 9 Используются для количественного и качественного анализа содержания вещества в образце. 9 Для этого используется инфракрасное излучение, которое проходит через исследуемый объект. 9