Какие технологии используются в современных акселерометрах?

Некоторые технологии, которые используются в современных акселерометрах:

• Пьезоэлектрические. lasercomponents.ru dzen.ru В таких приборах перемещающаяся инерционная масса воздействует на пьезоэлемент из кристаллического или керамического материала, вызывая в нём изменение электростатического напряжения. lasercomponents.ru
• Пьезорезистивные. lasercomponents.ru В них измеряется не заряд или напряжение, а механическое сопротивление самого пьезоматериала. lasercomponents.ru Благодаря отсутствию движущихся частей такие акселерометры устойчивы к перегрузкам и не чувствительны к электромагнитным помехам. lasercomponents.ru
• МЭМС и НЭМС. lasercomponents.ru В микромеханических датчиках чувствительный элемент и система обработки сигнала расположены на одной мультиплексорной подложке из кремния или кварца. lasercomponents.ru Второй вариант — гибридное исполнение, когда чувствительный элемент располагается на отдельной пластине, а все остальные детали вынесены вовне. lasercomponents.ru
• Волоконно-оптические. lasercomponents.ru dzen.ru В основе работы таких датчиков лежит модуляция оптического сигнала физическим воздействием. dzen.ru Волоконно-оптические акселерометры обладают повышенной чувствительностью, но достаточно сложны и дорогостоящи. lasercomponents.ru