Какие технологии используются в работе растрового электронного микроскопа?

Некоторые технологии, которые используются в работе растрового электронного микроскопа (РЭМ):

• Электронная пушка с полевой эмиссией. ostec-group.ru Позволяет получать пучок электронов с заданной энергией. ostec-group.ru Для этого используется явление полевой эмиссии, которое возникает в проводниках при помещении их в электрическое поле высокого напряжения. ostec-group.ru
• Исследование под углом. ostec-group.ru Когда электронный пучок попадает на образец под углом, количество испускаемых вторичных электронов увеличивается. ostec-group.ru Эта методика эффективна для изучения образцов с малой расчленённостью поверхности. ostec-group.ru
• Режим низкого вакуума. ostec-group.ru С его помощью можно изучать непроводящие образцы без предварительного напыления. ostec-group.ru При снижении вакуума в камере образцов остаётся значительное число молекул воздуха. ostec-group.ru При бомбардировке их эмитированными электронами молекулы ионизируются и приобретают положительный заряд. ostec-group.ru При столкновении положительных ионов с образцом они нейтрализуют заряд поверхности, и становится возможным изучение непроводящих образцов. ostec-group.ru
• Использование рентгеновского излучения. lab.bmstu.ru ostec-group.ru С его помощью получают дополнительную информацию о химическом составе материала исследуемого образца. lab.bmstu.ru Для этого применяется рентгеноспектральный микроанализатор. lab.bmstu.ru