Некоторые технологии, которые используются в работе растрового электронного микроскопа (РЭМ):

• Электронная пушка с полевой эмиссией. 2 Позволяет получать пучок электронов с заданной энергией. 2 Для этого используется явление полевой эмиссии, которое возникает в проводниках при помещении их в электрическое поле высокого напряжения. 2
• Исследование под углом. 2 Когда электронный пучок попадает на образец под углом, количество испускаемых вторичных электронов увеличивается. 2 Эта методика эффективна для изучения образцов с малой расчленённостью поверхности. 2
• Режим низкого вакуума. 2 С его помощью можно изучать непроводящие образцы без предварительного напыления. 2 При снижении вакуума в камере образцов остаётся значительное число молекул воздуха. 2 При бомбардировке их эмитированными электронами молекулы ионизируются и приобретают положительный заряд. 2 При столкновении положительных ионов с образцом они нейтрализуют заряд поверхности, и становится возможным изучение непроводящих образцов. 2
• Использование рентгеновского излучения. 12 С его помощью получают дополнительную информацию о химическом составе материала исследуемого образца. 1 Для этого применяется рентгеноспектральный микроанализатор. 1