Некоторые технологии, которые используются для создания глубокого вакуума в промышленных условиях:
- Комбинированная откачка. 1 Форвакуумная откачка осуществляется механическим насосом, а для получения высокого и сверхвысокого вакуума используются высоковакуумные насосы: магниторазрядные и диффузионные. 1
- Криосорбционные насосы. 1 Принцип их работы основан на зависимости абсорбционных свойств материала от температуры. 1 Для откачки геттер (газопоглотитель) охлаждается жидким азотом, при этом его геттерные свойства улучшаются и он активно абсорбирует газ, создавая вакуум. 1
- Вакуумные гидроциркуляционные агрегаты (ВГЦ агрегаты). 3 Они предназначены для откачки газов, паров и парогазожидкостных смесей с целью создания вакуума в аппаратах различного назначения. 3
- Конденсация парогазовой смеси с одновременным отсасыванием газов и паров. 4 В качестве рабочего конденсирующего и эжектирующего вещества применяют жидкость с низкой упругостью паров той же физической природы, что и конденсирующиеся вещества. 4