Какие технологии используются для создания глубокого вакуума в промышленных условиях?

Некоторые технологии, которые используются для создания глубокого вакуума в промышленных условиях:

• Комбинированная откачка. ru.wikipedia.org Форвакуумная откачка осуществляется механическим насосом, а для получения высокого и сверхвысокого вакуума используются высоковакуумные насосы: магниторазрядные и диффузионные. ru.wikipedia.org
• Криосорбционные насосы. ru.wikipedia.org Принцип их работы основан на зависимости абсорбционных свойств материала от температуры. ru.wikipedia.org Для откачки геттер (газопоглотитель) охлаждается жидким азотом, при этом его геттерные свойства улучшаются и он активно абсорбирует газ, создавая вакуум. ru.wikipedia.org
• Вакуумные гидроциркуляционные агрегаты (ВГЦ агрегаты). www.technovacuum.com.ru Они предназначены для откачки газов, паров и парогазожидкостных смесей с целью создания вакуума в аппаратах различного назначения. www.technovacuum.com.ru
• Конденсация парогазовой смеси с одновременным отсасыванием газов и паров. patents.google.com В качестве рабочего конденсирующего и эжектирующего вещества применяют жидкость с низкой упругостью паров той же физической природы, что и конденсирующиеся вещества. patents.google.com