Какие технологические факторы влияют на шероховатость поверхности при ионной обработке?

Некоторые технологические факторы, влияющие на шероховатость поверхности при ионной обработке:

• Угол падения ионов. cyberleninka.ru rep.bntu.by Шероховатость минимальна при угле 0°, так как большинство ионов не проникают вглубь материала, а происходит распыление пиков неровностей. studvesna.qform3d.ru При угле 90° большинство ионов проникают между вершинами и создают дополнительные дефекты поверхности, благодаря чему поверхность становится более развитой. studvesna.qform3d.ru
• Время обработки. studvesna.qform3d.ru Большое время обработки плохо влияет на качество поверхности, так как при длительном воздействии большая часть энергии ионов идёт на разогрев поверхности, а не на распыление неровностей. studvesna.qform3d.ru
• Давление в вакуумной камере. core.ac.uk Увеличение давления в камере приводит к увеличению шероховатости поверхности, так как повышается вероятность возвращения распыленных частиц обратно на поверхность. core.ac.uk
• Энергия ионов. www.ipmras.ru Сохранение шероховатости на сверхгладком уровне или даже сглаживание вследствие ионной бомбардировки наблюдается при энергии ионов порядка 1,5 кэВ и менее. www.ipmras.ru При энергиях выше 3 кэВ наблюдается заметная деградация поверхности. www.ipmras.ru
• Материал мишени. www.ipmras.ru Важное значение могут иметь такие факторы, как структура материала, ориентация относительно кристаллографических осей, присутствие примесей на поверхности или в объёме материала, а также наличие точечных или протяжённых дефектов. www.ipmras.ru