Некоторые технологические достижения, которые повлияли на миниатюризацию современных процессоров:

• Уменьшение размеров транзисторов. 1 Например, величина транзисторов, выполненных по технологии КМОП, в персональных компьютерах, выпущенных IBM в 1983 году, составляла 10 мкм, а сегодня их характерный размер — 0,25 мкм. 1
• Замена алюминиевой разводки, соединяющей отдельные транзисторы, на медную. 1 Это позволило уменьшить задержку при передаче сигнала от одного транзистора к другому. 1
• Использование «медной» технологии CMOS 7S. 1 Она позволила интегрировать на микросхеме шесть слоёв «проводов» и уменьшить размер элементов до 0,20 мкм. 1
• Применение изолятора на основе соединения гафния. 2 С его помощью удалось уменьшить утечку тока на логическом вентиле с помощью изолятора с более высокой диэлектрической прочностью, чем традиционный диоксид кремния. 2