Некоторые способы получения сверхчистой воды для микроэлектроники:

• Мембранная дистилляция. 1 После мембранного дистиллятора устанавливаются одна или несколько последовательно подключённых колонн с ионообменной смолой в Н+ и ОН-форме. 1 Это позволяет получить воду более глубокой очистки. 1
• Комбинирование технологий мембранной дистилляции и электродеионизации. 1 Однако у этого метода есть ограничения из-за больших капитальных затрат на его внедрение. 1
• Повторная перегонка дистиллированной воды. 4 После этого воду очищают от остатков органических и других примесей. 4

Также сверхчистую воду можно получать повторной перегонкой дистиллированной воды с последующим очищением от остатков органических и других примесей. 4

Для проектирования и монтажа системы водоподготовки с учётом степени загрязнения исходной воды рекомендуется обратиться к специалистам. 2