Какие существуют современные технологии производства электронных вакуумных ламп?

Некоторые современные технологии производства электронных вакуумных ламп:

• Миниатюризация. ru.wikipedia.org Отказ от подогреваемых катодов и переход на автоэлектронную эмиссию с холодных катодов специальной формы из специально подобранных материалов. ru.wikipedia.org Это позволяет довести размеры устройств до микронных и использовать при их изготовлении стандартные техпроцессы полупроводниковой индустрии. ru.wikipedia.org
• Очистка деталей. www.radiolamp.ru Для этого применяют химические способы, в том числе ультразвуковую очистку. www.radiolamp.ru
• Нанесение покрытий. www.radiolamp.ru На поверхность наносят порошок вещества, а затем деталь нагревают так, чтобы произошло «спекание» — срастание частиц друг с другом и с поверхностью путём взаимной диффузии. www.radiolamp.ru

Также исследователи из Калифорнийского технологического института разрабатывают технологию производства наноразмерных электронных ламп, которые могут стать альтернативой кремниевым транзисторам. habr.com