Некоторые современные технологии производства электронных вакуумных ламп:

• Миниатюризация. 2 Отказ от подогреваемых катодов и переход на автоэлектронную эмиссию с холодных катодов специальной формы из специально подобранных материалов. 2 Это позволяет довести размеры устройств до микронных и использовать при их изготовлении стандартные техпроцессы полупроводниковой индустрии. 2
• Очистка деталей. 3 Для этого применяют химические способы, в том числе ультразвуковую очистку. 3
• Нанесение покрытий. 3 На поверхность наносят порошок вещества, а затем деталь нагревают так, чтобы произошло «спекание» — срастание частиц друг с другом и с поверхностью путём взаимной диффузии. 3

Также исследователи из Калифорнийского технологического института разрабатывают технологию производства наноразмерных электронных ламп, которые могут стать альтернативой кремниевым транзисторам. 1