Какие существуют методы тестирования интегральных схем на производстве?

Некоторые методы тестирования интегральных схем на производстве:

• Пооперационный контроль. moluch.ru После производственных процессов микросхем (эпитаксии и диффузии) проводят замеры толщин плёнок, глубин p-n переходов, поверхностной концентрации и других параметров на отдельных контрольных образцах. moluch.ru
• Визуальный контроль. moluch.ru www.assemrus.ru Осмотр пластины под микроскопом с многократным увеличением позволяет идентифицировать такие показатели, как состояние поверхности, избыточное или недостаточное травление, несоответствие толщины окисного слоя и другое. moluch.ru
• Функциональный контроль. moluch.ru Проверка СБИС и БИС основана на измерении статистических и динамических параметров микросхемы на базе контрольно-тестовой таблицы, составленной разработчиками микросхемы при помощи компьютеризированных технологий. moluch.ru
• Параметрический контроль. moluch.ru Метод используется для схем малой интеграции компонентов. moluch.ru Основан на измерении базовых параметров микросхемы на постоянном токе, а также включает проверку выполнения логических функций и измерение выходных электрических сигналов. moluch.ru
• Диагностический контроль. moluch.ru Эффективен при тестировании гибридных ИС, позволяет заменить вышедшие из строя элементы, находящиеся на общей подложке. moluch.ru
• Использование тестовых структур на подложке (пластине). moluch.ru msse.1c-umi.ru Специально сконструированные отдельные элементы ИМС позволяют контролировать параметры физической структуры микросхемы при различных значениях воздействующих факторов при её изготовлении. msse.1c-umi.ru