Один из методов создания регулярной сетки на поверхности с отверстиями — ионное травление. 1 Для этого используют маски из фольги с регулярно расположенными отверстиями, как правило, круглой или эллиптической формы. 1
Процесс происходит так: маска, вырезанная по размерам обрабатываемой поверхности, жёстко закрепляется на поверхности, а деталь подвергается ионному травлению в вакуумной камере ионами аргона из ионного источника. 1
Глубина травления определяется временем и режимом ионной бомбардировки. 1 После завершения процесса маска удаляется, а поверхность подвергается тонкой механической обработке (доводке) до достижения требуемой плоскостности и шероховатости. 1
Также для создания регулярной сетки на поверхности используют специальные программные инструменты, например: