В вакуумных системах для охлаждения электронных компонентов используют, например, метод на основе испарения. 2 Охлаждаемая микроэлектронная схема или её отдельные сильно нагреваемые элементы размещаются в вакуумном корпусе, который содержит испаряемую жидкость. 2 Верхняя часть корпуса является зоной конденсации и оснащается радиатором в виде оребрения. 2

Принцип работы: тепловыделяющий элемент микросхемы, размещённый в вакуумном корпусе, нагреваясь, отдаёт тепло рабочей жидкости, которая испаряется и конденсируется в конденсационной зоне. 2 Радиаторы обеспечивают рассеивание тепла во внешнюю среду путём естественной конвекции. 2

Также в вакууме для охлаждения электронных компонентов используют излучение. 1 В таких условиях исключается прямая теплопередача и конвекция, поэтому для отвода тепла применяют только излучение. 1