Некоторые методы измерения толщины тонких полимерных плёнок:

• Профилометрия. 1 Для измерения используется профилометр-стилус, который отслеживает конформацию поверхности путём механического перемещения стилуса по плёночной подложке и контроля приложенного усилия. 1
• Атомно-силовая микроскопия (АСМ). 1 Метод позволяет определить толщину путём анализа профилей высоты. 1
• Рефлектометрия. 1 Метод основан на падающем пучке, который проникает в образец, достигая областей с различными показателями преломления, например, на границе раздела плёнка-подложка. 1 Луч отражается от границ раздела, и интерференция создаёт картину отражения по Френелю. 1 Соотношения высот максимумов в шаблоне связаны с толщиной плёнки и шириной границы раздела. 1
• Эллипсометрия. 1 Это наиболее распространённый неразрушающий метод определения толщины плёнки. 1 Он не подвержен угрозе повреждения поверхности. 1
• Гравиметрический метод. 35 За толщину принимают отношение массы образца к произведению площади на плотность материала. 3