Какие существуют альтернативные технологии литографии помимо фотолитографии?

Некоторые альтернативные технологии литографии помимо фотолитографии:

• Лазерно-интерференционная литография. school-science.ru Позволяет изготавливать структуры нанометрового масштаба без использования сложных оптических систем или фотомасок. school-science.ru
• Рентгенолитография. school-science.ru Геометрический рисунок переносится с маски на светочувствительный химический фоторезист на подложке, после чего части тонкой плёнки избирательно удаляются. school-science.ru
• EUV-литография (литография в экстремальном ультрафиолете). school-science.ru Используется для производства полупроводниковых схем, печати линий шириной до 30 нм и элементов микросхем размером менее 45 нм. school-science.ru
• Электронно-лучевая/ионно-лучевая литография. school-science.ru С её помощью изготавливают шаблоны с нанометровым разрешением для фотолитографии в производстве и в научной деятельности. school-science.ru
• Сканирующая зондовая литография. school-science.ru en.wikipedia.org Позволяет создавать запоминающие среды, рисунки с нанометровым разрешением, манипулировать молекулами и атомами, наносбирать устройства. school-science.ru
• Наноимпринтная литография (НИЛ). ostec-group.ru www.electronics.ru Один из перспективных альтернативных методов формирования наноструктур. ostec-group.ru Существуют два основных метода НИЛ: термическая и ультрафиолетовая. ostec-group.ru
• Биокаталитическая микроконтактная печать. school-science.ru С её помощью наносят наноизображения для микроприборов, биосенсоров и других наноприспособлений. school-science.ru

Пользователь

Время добавления