Некоторые альтернативные технологии литографии помимо фотолитографии:

• Лазерно-интерференционная литография. 1 Позволяет изготавливать структуры нанометрового масштаба без использования сложных оптических систем или фотомасок. 1
• Рентгенолитография. 1 Геометрический рисунок переносится с маски на светочувствительный химический фоторезист на подложке, после чего части тонкой плёнки избирательно удаляются. 1
• EUV-литография (литография в экстремальном ультрафиолете). 1 Используется для производства полупроводниковых схем, печати линий шириной до 30 нм и элементов микросхем размером менее 45 нм. 1
• Электронно-лучевая/ионно-лучевая литография. 1 С её помощью изготавливают шаблоны с нанометровым разрешением для фотолитографии в производстве и в научной деятельности. 1
• Сканирующая зондовая литография. 12 Позволяет создавать запоминающие среды, рисунки с нанометровым разрешением, манипулировать молекулами и атомами, наносбирать устройства. 1
• Наноимпринтная литография (НИЛ). 34 Один из перспективных альтернативных методов формирования наноструктур. 3 Существуют два основных метода НИЛ: термическая и ультрафиолетовая. 3
• Биокаталитическая микроконтактная печать. 1 С её помощью наносят наноизображения для микроприборов, биосенсоров и других наноприспособлений. 1