Некоторые современные технологии, которые используются в производстве чувствительных элементов:
Специализированные технологии микрообработки. spacedevice.ru Они позволяют групповое изготовление датчиков, что снижает трудоёмкость производства и минимизирует сборочно-монтажные операции. spacedevice.ru
Метод анизотропного травления кремния. mems-russia.ru С его помощью формируют рабочие зазоры вибрационных систем МЭМС и создают разнообразные объёмные фигуры травления, например торсионы. mems-russia.ru
Лазерные технологии. www.runeft.ru С их помощью механически обрабатывают обратную сторону кремниевой пластины с точностью до 1 мкм. www.runeft.ru Это позволяет формировать любой профиль рабочей мембраны чувствительного элемента и увеличивать перегрузочную способность по давлению в 8–10 раз по сравнению с импортными аналогами. www.runeft.ru
Технология реактивного магнетронного распыления. www.dissercat.com С её помощью получают оксид цинка (ZnO), который используют для изготовления фотодиэлектрических чувствительных элементов ультрафиолетового диапазона. www.dissercat.com
Примеры полезных ответов Поиска с Алисой на вопросы из разных сфер. Вопросы сгенерированы нейросетью YandexGPT для актуальных тем, которые определяются на базе обобщённых запросов к Поиску с Алисой.