Некоторые преимущества МЭМС-систем (микроэлектромеханических систем) перед традиционными механическими системами:

• Миниатюрность. 3 Размеры компонентов МЭМС варьируются от 1 до 100 микрометров, а размеры самих устройств — от нескольких миллиметров до нескольких сантиметров. 3
• Интеграция. 3 МЭМС объединяют механические и электронные компоненты на одном кристалле, что обеспечивает компактность, надёжность и снижение энергопотребления. 3
• Функциональность. 3 МЭМС способны выполнять широкий спектр задач — от измерения физических величин (давление, ускорение, температура) до управления микроскопическими объектами. 3
• Низкое энергопотребление. 13 Устройства на основе МЭМС могут работать значительно дольше без подзарядки. 3
• Высокая надёжность и устойчивость к нагрузкам. 1 За счёт малых габаритов и массы механические компоненты МЭМС меньше подвержены влиянию вибраций и ударов. 1
• Низкая стоимость. 12 Интегральная технология позволяет выпускать устройства серийно, что снижает стоимость отдельных приборов. 1
• Малая тепловая инерционность и устойчивость к температурному расширению. 1 Могут использоваться как при низких, так и при высоких температурах, в условиях резких температурных перепадов. 1