Некоторые преимущества импульсных систем с высокой скважностью:
- Обеспечение высоких мощностей на катоде. 1 Это выгодно, например, для повышения скорости осаждения покрытий. 1
- Возможность изменения свойств получаемых покрытий. 1 Варьируя параметрами рабочего импульса, можно достичь изменений в производительности системы и в характеристиках потока осаждаемых частиц на подложку. 1
- Повышенная помехоустойчивость. 3 Это одно из преимуществ, по которому иногда используют импульсные системы с высокой скважностью, например, для связи. 3
Скважность — характеристика импульсных систем, которая определяет отношение периода следования импульсов к длительности импульса. 45