Вопросы к Поиску с Алисой
Некоторые преимущества технологии LDP (лазерно-индуцированной разрядной плазмы) в EUV-литографии по сравнению с LPP (лазерно-плазменной обработкой) компании ASML:
Метод LPP опирается на высокоэнергетические лазеры и сложную управляющую электронику реального времени на основе FPGA. rutab.net russianelectronics.ru