Какие преимущества имеет индуктивно-связанная плазма для травления сапфира?

Преимущества использования индуктивно-связанной плазмы для травления сапфира включают:

• Высокую скорость и качество травления. vlab.fandom.com Это достигается благодаря высокой концентрации электронов и ионов в плазме. vlab.fandom.com
• Возможность независимого управления плотностью и энергией ионов плазмы. journal.tusur.ru Это позволяет гибко управлять режимами травления. journal.tusur.ru
• Получение анизотропного профиля. technoinfo.ru Например, при травлении сапфира с наклоном боковой стенки 80° получаются гладкие боковые стенки и анизотропный профиль. technoinfo.ru
• Равномерность травления. technoinfo.ru Например, по пластине размером 50 мм равномерность составляет 2,5%. technoinfo.ru
• Гладкие боковые стенки. technoinfo.ru

Кроме того, индуктивно-связанная плазма считается более дешёвой по сравнению с другими источниками плазмы, а также обеспечивает большую однородность при увеличении объёма обрабатываемых подложек. ipsiras.ru