Преимущества электровакуумных приборов по сравнению с полупроводниковыми:

• малошумность; 1
• устойчивость к радиации. 1

Недостатки электровакуумных приборов:

• повышенные масса и габариты; 2
• небольшой срок службы (в среднем 500 часов); 2
• низкая экономичность; 2
• низкая технологичность изготовления; 2
• невозможность микроминиатюризации. 2

Преимущества полупроводниковых приборов по сравнению с электровакуумными:

• сравнительно небольшие масса и габариты; 2
• существенно больший срок службы (десятки тысяч часов и более) и надёжность; 2
• высокая экономичность (отсутствие затрат энергии на накал, возможность работать при низких напряжениях питания, более низкая стоимость); 2
• хорошо поддаются микроминиатюризации (позволяют создавать в микроскопических размерах электронные схемы, содержащие десятки тысяч элементов); 2
• большая механическая прочность (устойчивость к вибрациям и ударам). 2

Недостатки полупроводниковых приборов:

• значительный разброс параметров и характеристик у приборов одного типа; 2
• зависимость свойств и параметров от температуры; 2
• наблюдается процесс старения; 2
• собственные шумы, иногда даже больше, чем у электронных ламп; 2
• под действием ионизирующего излучения работа большинства полупроводниковых приборов резко ухудшается. 2