Преимущества термовакуумного напыления по сравнению с другими методами получения тонких плёнок:

• Высокая чистота осаждаемого материала (процесс проводится при высоком и сверхвысоком вакууме). 2
• Универсальность (наносят плёнки металлов, сплавов, полупроводников, диэлектриков). 2
• Относительная простота реализации. 2

Недостатки термовакуумного напыления:

• Нерегулируемая скорость осаждения. 2
• Низкая, непостоянная и нерегулируемая энергия осаждаемых частиц. 2
• Неоднородный химический состав (особенно при напылении из сплавов) и недостаточная стабильность плёнок. 1