Преимущества прямого склеивания в производстве кремниевых пластин:

• Низкий уровень дефектности приборного слоя. 14 Плотность дислокаций и дефектов упаковки практически такая же, как у монокристаллического кремния наивысшего качества. 1
• Возможность изготовления пластин с практически любой толщиной слоёв кремния и изолирующего диэлектрика (с погрешностью не более 2–5%) на подложках диаметром до 450 мм при отсутствии коробления этих подложек. 1
• Доступность легирования кремния различными примесями со строго контролируемым уровнем и профилем их распределения. 1
• Широкий спектр возможных комбинаций кремния в приборном слое с множеством других материалов (А3В5, А2В6, SiC, графен, углеродные нанотрубки и другие). 1
• Совместимость технологического маршрута изготовления структур с традиционными операциями и процессами кремниевой нанотехнологии. 1
• Возможность изготавливать многоуровневые структуры, трёхмерные ИС, микроэлектромеханические системы (МЭМС), а также устройства вакуумной микроэлектроники. 14

Недостатки прямого склеивания в производстве кремниевых пластин:

• Неэкономное расходование материала: из всей пластины используется только её малая часть, весь остальной материал полностью теряется и не может вторично использоваться. 1
• Усложнение технологического процесса и рост стоимости готовых изделий при уменьшении толщины поверхностного слоя. 3