Какие преимущества дает применение микроволнового воздействия в CVD-процессах?

Применение микроволнового воздействия в CVD-процессах даёт следующие преимущества:

• Возможность получения высокочистых эпитаксиальных слоёв. ipfran.ru Содержание примесей в таких слоях может быть менее 1 ppb, что значительно превосходит чистоту природного алмаза и не достижимо другими методами синтеза. ipfran.ru
• Простота использования малых добавок примесей. ipfran.ru Это позволяет изменять свойства материала (например, оптические или электрические). ipfran.ru Уровень содержания примесей можно контролировать в широких пределах с помощью изменения потока добавляемых газов. ipfran.ru
• Возможность выращивания углеродных нанотрубок (УНТ) при низкой температуре и атмосферном давлении. pubs.rsc.org Это достигается благодаря специальному механизму нагрева микроволнами, который позволяет поддерживать относительно низкие температуры в реакционном сосуде. pubs.rsc.org