Применение микроволнового воздействия в CVD-процессах даёт следующие преимущества:

• Возможность получения высокочистых эпитаксиальных слоёв. 5 Содержание примесей в таких слоях может быть менее 1 ppb, что значительно превосходит чистоту природного алмаза и не достижимо другими методами синтеза. 5
• Простота использования малых добавок примесей. 5 Это позволяет изменять свойства материала (например, оптические или электрические). 5 Уровень содержания примесей можно контролировать в широких пределах с помощью изменения потока добавляемых газов. 5
• Возможность выращивания углеродных нанотрубок (УНТ) при низкой температуре и атмосферном давлении. 1 Это достигается благодаря специальному механизму нагрева микроволнами, который позволяет поддерживать относительно низкие температуры в реакционном сосуде. 1