Какие преимущества дает поверхностное легирование в полупроводниковой промышленности?

Некоторые преимущества поверхностного легирования в полупроводниковой промышленности:

• Повышение эффективности. studizba.com Например, с помощью ионного легирования можно получить высокоомные слои с небольшими размерами, что облегчает создание некоторых полупроводниковых приборов. studizba.com
• Снижение себестоимости и процента брака. studizba.com
• Возможность создания принципиально новых приборов. studizba.com Так, с помощью ионной технологии улучшили варакторы, IMPATT-диоды, МОП-транзисторы. studizba.com
• Локальное и прецизионное легирование. sibsauktf.ru Например, с помощью лазерного излучения можно проводить легирование, при котором поверхностный слой расплавляется, а примесь диффундирует в глубь легируемого материала. sibsauktf.ru
• Улучшение параметров вольт-амперных характеристик. sibsauktf.ru Лазерный отжиг поверхности пластин способствует уменьшению рекомбинационных эффектов в области пространственных зарядов, улучшая параметры вольт-амперных характеристик в 1,2–1,5 раза. sibsauktf.ru