Использование безэлектродных СВЧ разрядов в промышленных плазмотронах даёт следующие преимущества:

• Более высокая концентрация активных плазменных частиц и большая плотность высокоэнергетичных электронов по сравнению с низкочастотными разрядами. 1 Это важно для реализации плазмохимических процессов, эффективность которых зависит от скоростей плазменных реакций. 1
• Возможность устойчивого поддержания разряда в широком диапазоне давлений. 1
• Получение чистой безэлектродной плазмы, которая не имеет теплового и электрического контакта с элементами конструкции плазмотрона. 3
• Повышение надёжности и долговечности устройства за счёт снижения тепловой нагрузки на стенки диэлектрической разрядной камеры. 5
• Возможность совмещения с электродуговым разрядом, что позволяет повысить стабильность горения СВЧ разряда и расширить диапазон среднемассовой температуры плазменного потока, а значит, технологические возможности плазмотрона. 4