Какие основные типы вакуумных насосов используются при откачке рабочих камер электронно-лучевых установок?

Основные типы вакуумных насосов, используемых при откачке рабочих камер электронно-лучевых установок:

• Низковакуумные. studme.org К ним относятся механические поршневые и двухступенчатые насосы, ротационные пластинчатые, двухроторные и винтовые насосы, насосы с частичным внутренним сжатием и водокольцевые. sibsauktf.ru Давление, достигаемое в них, составляет P ≈ 0,3…1 Па. sibsauktf.ru
• Средневакуумные. sibsauktf.ru К ним относятся пластинчато-роторные насосы и насосы с катящимся ротором, сорбционные насосы. sibsauktf.ru Давление в них составляет P ≈ 1…10-1 Па. sibsauktf.ru
• Высоковакуумные. sibsauktf.ru studme.org К ним относятся молекулярные и турбомолекулярные насосы. sibsauktf.ru Давление в них составляет P ≈ 10-4…10-6 Па. sibsauktf.ru
• Сверхвысоковакуумные. sibsauktf.ru К ним относятся магниторазрядные, геттерно-ионные, конденсационные насосы, а также различные их модификации (P ≈ 10-7…10-9 Па). sibsauktf.ru

В установках для электронно-лучевой сварки в качестве насосов предварительного разрежения (низковакуумных) используют объёмные ротационные насосы, а для создания высокого вакуума — эжекторные, диффузионные и турбомолекулярные насосы. studme.org