Некоторые методы очистки вакуумных приборов:

• Очистка растворителем. 1 Для разных загрязняющих веществ используются разные растворители: органические, вода с моющим средством, разбавленная кислота, щёлочь, нефтяные дистилляты, различные металлические чистящие средства. 1
• Ультразвуковая очистка. 1 Позволяет достичь сильного эффекта физической очистки и удалить сильные адгезивные загрязнители. 1
• Обезжиривание паром. 1 Подходит для очистки поверхностных жировых и липидных плёнок. 1
• Электролитическая эрозионная очистка. 1 С её помощью удаляют тонкую ржавчину на поверхности металлических деталей или оксидную плёнку и другие загрязняющие вещества. 1
• Нагревательная очистка и очистка облучением. 1 Компоненты нагревают при нормальном давлении или вакууме, чтобы испарялись летучие загрязнители на поверхности. 1
• Очистка с разгрузкой. 1 Применяется при очистке систем с высоким вакуумом. 1 Десорбция газов и удаление некоторых углеводородов происходит путём электронной бомбардировки. 1
• Азотная очистка. 1 Азот используют для промывки загрязнённой вакуумной системы и выжимания водяного газа и других молекул газа, чтобы сократить время откачки вакуумной системы. 1
• Плазменная очистка. 2 Обеспечивает полную очистку без использования едких химикатов. 2 Подходит для прецизионных компонентов и тех, которые не переносят остатки химикатов. 2