Какие методы применяются для получения кремниевых изделий высокой чистоты?

Некоторые методы, которые применяются для получения кремниевых изделий высокой чистоты:

• Хлорирование кремния. 1 Образуются соединения состава SiCl4 и SiCl3H. 1 Эти хлориды очищают различными способами от примесей и на заключительном этапе восстанавливают чистым водородом. 1
• Получение силицида магния Mg2Si. 1 Из силицида магния с помощью соляной или уксусной кислот получают летучий моносилан SiH4. 1 Моносилан очищают ректификацией, сорбционными и другими методами, а затем разлагают на кремний и водород при температуре около 1000 °C. 1
• Карботермическое восстановление кварца высокой чистоты в электродуговой печи с использованием углеродного восстановителя. 2 На первой стадии высокочистый кремний расплавляют в тигле и при температуре 1900 °С вводят в тигель измельчённый высокочистый кварц. 2 Образующийся при этом монооксид кремния поступает на вторую стадию, где восстанавливается до элементарного кремния. 2
• Гидридная технология. 3 Включает синтез трихлорсилана методом низкотемпературного каталитического гидрирования тетрахлорида кремния, производство моносилана методом каталитического диспропорционирования и производство поликристаллического кремния пиролизом моносилана. 3
• Получение высокочистого кремния в виде наноразмерного порошка. 5 Включает синтез газообразного монооксида кремния реакцией диоксида кремния с кремнием, конденсацию монооксида кремния из газовой фазы и получение нанокремния из твёрдого монооксида кремния. 5