Какие методы нанесения покрытия нитрида титана существуют?

Некоторые методы нанесения покрытия из нитрида титана (TiN):

• Физическое осаждение из паровой фазы (PVD). 13 Наиболее распространённый метод. 1 Включает следующие этапы: 1

1. Подготовка поверхности. 1 Механическая очистка, полировка, ультразвуковая и химическая обработка для обеспечения максимальной адгезии. 1
2. Размещение в вакуумной камере. 1 Изделия помещаются в специальную камеру, из которой откачивается воздух для создания вакуума. 1
3. Нагрев и ионная очистка. 1 Поверхность нагревается до температуры 350–500 °C и очищается ионной бомбардировкой. 1
4. Осаждение титана. 1 Формируется первый слой чистого титана для обеспечения адгезии. 1
5. Реакция с азотом. 1 В камеру подаётся азот, который реагирует с титаном, образуя нитрид титана. 1
6. Контролируемое охлаждение. 1 Проводится для стабилизации структуры покрытия. 1

• Термодиффузионный метод. 1 Альтернативный подход, при котором титан и азот диффундируют в поверхностный слой материала при высокой температуре, образуя более глубокое проникновение покрытия в структуру основы. 1
• Плазменное напыление. 3 Высокоэнергетическая плазменная струя расплавляет порошок TiN, затем этот порошок напыляется на поверхность материала. 3 В результате взаимодействия расплавленного титана с азотом в атмосфере образуется прочное покрытие TiN. 3
• Химическое осаждение из паровой фазы (CVD). 4 Включает реакцию галогенидов титана с газообразным аммиаком при высоких температурах для получения гладких покрытий TiN. 4