Какие методы контроля толщины покрытий используются в вакуумных камерах?

Некоторые методы контроля толщины покрытий, которые используются в вакуумных камерах:

• С помощью «свидетеля». 1 Это миниатюрный образец материала, который размещают рядом с основной деталью. 1 После нанесения покрытия образец извлекают из камеры и анализируют с помощью микроскопа, сканирующего электронного микроскопа, профилометра или других аналитических инструментов. 1 Результаты анализа сравнивают с качеством покрытия основных деталей, чтобы определить, был ли процесс нанесения покрытия успешным. 1
• С помощью кварцевого датчика. 1 Устройство измеряет массу материала, нанесённого на его поверхность. 1 Принцип работы основан на пьезоэлектрическом эффекте кристаллов кварца: они генерируют электрический заряд при механическом воздействии и деформируются при воздействии электрического поля. 1
• Фотометрический метод. 23 Контроль толщины покрытий проводят по изменению спектрального коэффициента отражения или пропускания контрольного образца или непосредственно по детали. 2
• Рентгенографические методы. 3 С их помощью проводят точные измерения толщины тонких металлических плёнок. 3 Материал плёнки возбуждают источником высокой энергии, таким как рентгеновские лучи, пучок электронов или радиоактивный источник. 3 Затем измеряют интенсивность характеристического излучения, эмитируемого материалом плёнки. 3
• Емкостный способ. 5 При этом способе фиксируют приращение ёмкости объёмного вакуумного конденсатора при прохождении между его обкладками потока паров осаждаемого материала. 5 Изменение ёмкости конденсатора пропорционально скорости осаждения слоя. 5