Какие методы контроля толщины покрытий используются в вакуумных камерах?

Некоторые методы контроля толщины покрытий, которые используются в вакуумных камерах:

• С помощью «свидетеля». rep.bntu.by Это миниатюрный образец материала, который размещают рядом с основной деталью. rep.bntu.by После нанесения покрытия образец извлекают из камеры и анализируют с помощью микроскопа, сканирующего электронного микроскопа, профилометра или других аналитических инструментов. rep.bntu.by Результаты анализа сравнивают с качеством покрытия основных деталей, чтобы определить, был ли процесс нанесения покрытия успешным. rep.bntu.by
• С помощью кварцевого датчика. rep.bntu.by Устройство измеряет массу материала, нанесённого на его поверхность. rep.bntu.by Принцип работы основан на пьезоэлектрическом эффекте кристаллов кварца: они генерируют электрический заряд при механическом воздействии и деформируются при воздействии электрического поля. rep.bntu.by
• Фотометрический метод. files.stroyinf.ru www.bibliofond.ru Контроль толщины покрытий проводят по изменению спектрального коэффициента отражения или пропускания контрольного образца или непосредственно по детали. files.stroyinf.ru
• Рентгенографические методы. www.bibliofond.ru С их помощью проводят точные измерения толщины тонких металлических плёнок. www.bibliofond.ru Материал плёнки возбуждают источником высокой энергии, таким как рентгеновские лучи, пучок электронов или радиоактивный источник. www.bibliofond.ru Затем измеряют интенсивность характеристического излучения, эмитируемого материалом плёнки. www.bibliofond.ru
• Емкостный способ. patents.google.com При этом способе фиксируют приращение ёмкости объёмного вакуумного конденсатора при прохождении между его обкладками потока паров осаждаемого материала. patents.google.com Изменение ёмкости конденсатора пропорционально скорости осаждения слоя. patents.google.com