Какие методы используются для уменьшения трения в микроэлектромеханических системах?

Некоторые методы, которые используются для уменьшения трения в микроэлектромеханических системах (МЭМС):

• Применение специальных сверхтонких покрытий. 1 Поскольку электронные технологии получения МЭМС основаны на использовании таких материалов, как кремний, для которого характерны низкие механические и трибологические характеристики, необходимы специальные покрытия. 1
• Использование «умных» материалов. 2 Это покрытия, которые в процессе работы изменяются, отслеживая изменение условий трения. 2 В результате трение и износ уменьшаются. 2
• Создание наноразмерных выступов. 4 Такой метод позволяет уменьшить площадь контакта между поверхностями и, как следствие, снизить трение. 4
• Использование углеродных алмазоподобных покрытий. 5 Они снижают коэффициент трения и уменьшают износ трущихся пар. 5

Классические методы уменьшения трения жидкими смазками в МЭМС используются ограниченно из-за эффектов поверхностного натяжения. 2