Какие методы используются для уменьшения трения в микроэлектромеханических системах?

Некоторые методы, которые используются для уменьшения трения в микроэлектромеханических системах (МЭМС):

• Применение специальных сверхтонких покрытий. www.mashin.ru Поскольку электронные технологии получения МЭМС основаны на использовании таких материалов, как кремний, для которого характерны низкие механические и трибологические характеристики, необходимы специальные покрытия. www.mashin.ru
• Использование «умных» материалов. www.researchgate.net Это покрытия, которые в процессе работы изменяются, отслеживая изменение условий трения. www.researchgate.net В результате трение и износ уменьшаются. www.researchgate.net
• Создание наноразмерных выступов. www.sciencedaily.com Такой метод позволяет уменьшить площадь контакта между поверхностями и, как следствие, снизить трение. www.sciencedaily.com
• Использование углеродных алмазоподобных покрытий. sciencejournals.ru Они снижают коэффициент трения и уменьшают износ трущихся пар. sciencejournals.ru

Классические методы уменьшения трения жидкими смазками в МЭМС используются ограниченно из-за эффектов поверхностного натяжения. www.researchgate.net